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日期:2021-10-16 播放: 404 评论:0
高精度光学测量仪 MarSurf WM 100 有亚纳米级分辨率和测量精度。3D 白光干涉仪测量系统。

亚纳米分辨率和测量度下有高精度
适合所有光学和反射表面、精细技术表面和电路板、半导体产品和生物组织表面
2D 表面分析和测量评估
地形学 3D 表面分析和测量评估
快速测量 #96 短测量时间
在 4 个轴上手动定位工作台和物体
多种镜头选择,可根据测量对象进行调整
采用花岗石底座的稳固型设计
基于 MountainsMap© 的评估软件

测量原则
使用干涉仪,白光干涉仪
光源 (WLI):高功率 LED,505 nm

测量范围 mm
传感器装置在 Z 方向可手动移动 200 mm
载物台在 X 和 Y 方向可手动移动

干涉仪,白光干涉仪:
测量范围(WLI):高 100 µm(垂直)
接口 230 V, 50 Hz

机器建造
所有类型纯金属表面(打磨,轧制等),以及激光结构表面、细陶瓷和塑料表面、铸模表面

医疗
植入体、假肢和仪器的金属、陶瓷和塑料表面

电子
涂层表面分析,电子和半导体组件的测量和分析

光学
各种光学组件(所有材料)的粗糙度分析

CT 120 双轴倾斜工作台

设置工作台角 +/- 30°

标准套件

白光干涉仪:
WLI 物镜 2.5x0.075; 5x0.13; 10x0.3; 20x0.4; 50x0.55; 100x0.7

可选:
配备减震器来为纳米和亚纳米范围测量优化减震

传感器系统,包含:
WLI 传感头
相机,768 x 582 像素,高 48 图像/秒
100 µm Z 轴,带压电驱动
WLI 软件模块,"Inspector" 软件
花岗石底座和立柱,配有手动定位传感器系统
手动 XY 载物台用于测头定位
20x0.4 DI 镜头(白光干涉仪)

干涉仪一直被用于测量表面形状的高精度工具,或者用于量块校准。马尔提供菲索干涉仪和白光干涉仪,其中白光干涉仪可以达到0.1纳米的超高分辨率,用来测量超高精度3D表面粗糙度。

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李先生

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