双视显微镜（适用于直径达 4 英寸和 6 英寸的晶圆）
DCM-40/60是独特的显微镜系统，将样品（晶圆）的顶部和底部图案叠加在显微镜的视野中，然后通过测量系统比较位移来测量位移长度。由于安装在顶部和底部的物镜有 5 种类型，总放大倍率从 50X 到 1000X，因此可以观察各种标本。
| DCM-60 | DCM-40 | ||||||||||||||||
| 目标 （ 由客户选择） |
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| 目镜 | 一对 SUW10X （包括测微分划板） |
一对 UW10X （包括测微分划板） |
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| 总放大倍率 | 50X 至 400X（更大的放大倍数可根据定制订单提供。） | ||||||||||||||||
| 上物镜行程 | 24mm | 30mm | |||||||||||||||
| 下物镜行程 | 3 毫米 | 12mm | |||||||||||||||
| 筛选 | 顶部：绿色 / 底部：红色 | ||||||||||||||||
| 舞台&柜台 | 150 x 150mm 手动载物台 KC-12R 计数器（1μm 读数） |
50 x 50mm 手动载物台，数字测微计（1μm 读数） 100 x 100mm 手动载物台，KC-12R 计数器（1μm 读数） | |||||||||||||||
| 舞台旅行 | X：150mm Y：150mm | X：50mm Y：50mm X：100mm Y：100mm |
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| 晶圆架 | 最大：6 英寸 | 最大：4 英寸 | |||||||||||||||
| 支架可以根据定制订单提供特殊设计的形状。 | |||||||||||||||||
| 舞台旋转 | 360° | ||||||||||||||||
| 照明 | 150W 卤素光导照明 | ||||||||||||||||
| 材料厚度 | 20mm以下 | 30mm以下 | |||||||||||||||
| 校准图表类型 | 光轴校准校准图 |
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