小型等离子清洗机（电浆清洗机）
1.主要用于实验、科研、医学及小规模的生产领域。
2.特点：成本低，整机机械、电气结构简单、实用，易维护。
3.控制方式：手动或自动控制模式,一键完成整个清洗工艺。
4.电源功率、清洗时间、气体流量、净化真空度等参数可设置。
5.射频电源手动匹配（自主研发的全固态晶体管输出型）
6.浮子精密气体流量计、针阀等控制工艺气体流量。
7.清洗完成有提示音。
8.反射功率过大报警。
9.工艺气体耗尽报警。
10.泵热过载报警。
11.反应仓泄漏报警。
12.电极采用高通量等离子结构，牢固可靠易拆卸。
13.反应仓位矩形不锈钢腔体，水平电极板放置，间距可调。
14.真空泵采用双腔式旋片泵，极限真空度可达2Pa以下，一般采用外置。
15.真空泵可选配液位低报警装置。
