热搜: 机器人irobot佳士科技开云电竞官网下载app机器人产业联盟机械手ABB发那科机器人展览码垛机器人

晶圆制造解决方案之利器 — 中空伺服电机

日期:2025-01-23 来源:安川电机 作者:angle 评论:0
标签:

前言

随着信息技术的高速发展,半导体产业日益成为全球最重要的产业之一。目前,半导体设备的国产化需求急剧上升,得益于半导体行业的蓬勃发展和国家政策的支持。在此大背景下,安川电机深入对半导体设备和工艺的研究,致力于为客户提供优质的解决方案。


半导体制造工艺



半导体工艺流程图


清洗工艺

清洗工艺贯穿于晶圆制造的整个过程,是保证良品率的关键之一。清洗工艺的好坏不仅影响表面的洁净度,还会对芯片的电学性能、稳定性等产生直接影响。




解决方案—中空电机

安川电机针对清洗工艺提出了全新的中空电机方案。


传统伺服电机结构 VS 中空伺服电机结构


方案优势


1:空间优化
以往的结构是伺服通过皮带轮装置连接中空轴,结构相对复杂,占据空间。通过采用中空伺服电机,可简化机械结构以实现节省空间的目的。
2:粉尘减少
中空部的转动轴采用不锈钢,并选用低发尘规格的特殊润滑脂,有效地减少了粉尘的发生。
3:高速高精度
搭载了24bit高分辨率编码器,其中SGM7T-08A最大速度可达3000min-1。


机台结构


中空电机规格



声明:凡开云电子链接 来源注明为其他媒体来源的信息,均为转载自其他媒体,并不代表本网站赞同其观点,也不代表本网站对其真实性负责。您若对该文章内容有任何疑问或质疑,请立即与开云客户(www.www.wykobounce.com)联系,本网站将迅速给您回应并做处理。
电话:021-39553798-8007
更多> 相关开云电子链接
0 相关评论

推荐图文
推荐开云电子链接
点击排行
Baidu
map