在半导体制造的多个工艺环节中,包括刻蚀、镀膜等等。为了提高半导体制造过程的精度和均匀性,半导体工艺必须在极度受控的真空环境中运行。而获得真空环境所需的设备即为真空泵。
今天要给大家介绍的是安川变频器产品在真空泵设备中的应用。
半导体用干式真空泵设备
半导体成膜工艺
半导体用真空泵一般容易存在启动、加速响应慢,抽速不够稳定;运行效率不高;开放大气时易发生过载、过流故障而停机;面对雷雨季节及供电环境不好时,易因瞬时停电或电压暂降而造成真空泵停机,造成半导体生产损失。
采用安川变频器后设备的特性
1.稳定性
高响应性,抗冲击负载能力强,使真空泵稳定运行。
2.高启动转矩
转矩极限可根据速度切换,使泵在启动及加速过程更快,更稳定。
3.高效性
应对半导体不同工艺,通过专用功能,防止过载前提下保证真空泵高效运行。
4.节能
可高效、稳定驱动配置PM电机的真空泵,更加节能。
5.高信赖性
即使发生瞬时停电或电压暂降,可使真空泵保持输出,电压恢复后继续运行。
高响应性,抗冲击负载能力强,使真空泵稳定运行。
2.高启动转矩
转矩极限可根据速度切换,使泵在启动及加速过程更快,更稳定。
3.高效性
应对半导体不同工艺,通过专用功能,防止过载前提下保证真空泵高效运行。
4.节能
可高效、稳定驱动配置PM电机的真空泵,更加节能。
5.高信赖性
即使发生瞬时停电或电压暂降,可使真空泵保持输出,电压恢复后继续运行。
安川变频器在国内外的真空泵设备上广泛应用,业内知名度高。能够使半导体用真空泵在不同的半导体工艺下,稳定、高效运行,满足客户需求。
以上是关于真空泵行业的案例介绍。除此之外,安川也会根据客户的需求提供定制化的方案与服务,敬请期待。
-- 安川运动控制产品资料下载 --
- 进入安川电机官网 https://yaskawa.com.cn/ → 点击「资料库」→ 搜索栏输入“手顺”后进行搜索
- 微信扫描以下二维码,打开「样本通」小程序 →「服务与支持」→「机器人手顺书」→ 根据需求选择分类