位于合肥新站区的合肥欣奕华智能机器股份有限公司内，正在生产高世代洁净环境大型玻璃基板搬运机器人。记者了解到，该洁净搬运机器人成果来源于“十三五”国家重点研发计划“智能机器人”专项项目，已于今年3月通过科技部专家组综合绩效评价。
“高世代洁净环境大型玻璃基板搬运机器人主要用于洁净环境中不同工艺间搬运大型玻璃基板。”合肥欣奕华智能机器股份有限公司相关负责人告诉记者，由于大型玻璃基板超薄易碎，人工搬运易碎，同时显示面板生产线对环境洁净度、设备节拍时间、设备高度、可靠性有严格要求，人工无法完成，所以需要洁净环境大型玻璃基板搬运机器人。
合肥欣奕华主要从机构设计、振动机理分析、运动控制等三个方面着手解决了技术难题：一是在机构设计上，高刚度、轻量化，保证机构运动的稳定性；二是在机理上，研究机器人在高速运动过程中的振动形成机理和传播机理，从机构设计层面改善搬运机器人的振动抑制问题；三是在控制方面，建立机器人运动模型、进行运动规划、运动控制及位置补偿算法。
目前该系列大型玻璃基板搬运机器人可搬运基板尺寸最大达到2.94米×3.37米，最高搬运速度可达2.5米/秒，达到世界先进水平，适用于显示面板生产线的曝光、涂胶、蚀刻等所有典型工位。目前已累计应用2600余台，规格超过100种。该洁净搬运机器人获得安徽省首台（套）认定。2021年，洁净环境大型玻璃基板搬运机器人作为国家重点研发计划项目成果受邀参加了“十三五”科技创新成就展。
该系列产品获2018年“安徽省名牌产品”称号，2018年安徽省科学技术奖一等奖，2018年、2019年“安徽省新产品”称号，2022年安徽省机器人“十大”创新产品等殊荣。（记者张贤良）
