而安川电机的DD马达正是具有高精度和高响应性的经典产品。
安川电机的DD马达
DD马达原理与特性
DD即Direct Driver，意为直驱电机，它是一种被广泛运用于半导体制造设备、电子制造设备（3C行业）等产业机械的电机，目前也开始应用于光伏行业。
DD马达的特性：
（1）高精度
（2）高刚性
（3）高转矩
同样是旋转机构，上方图左是普通的AC伺服电机通过减速机、联轴器再驱动工作台；图右是DD马达直接驱动工作台，从而使机构更简单。
DD马达的优势：
（1）减小间隙误差
（2）高定位精度
（3）高刚性，结构紧凑
首先，间隙误差被消除。普通的传动机构由于有减速机、联轴器等中间环节，间隙误差是难以避免的，尤其是对于长时间运转所造成的机械磨损更是无法补偿，也会导致定位精度降低。而DD马达是直接驱动的安装方式，能大幅降低间隙误差，恰好能解决以上的问题。另外，DD马达在没有中间传动机构的同时还一般配置高解析度的编码器，使工艺精度进一步得到保证。
其次，DD马达的刚性很强，与负载结合后特性很硬。安川7D系列马达中空优化设计不仅减轻了自身惯量，而且给客户提供了更多的安装形式。DD马达组合后的机械结构会更加紧凑，使用效率更高。
DD马达的相对转速较低，额定转速在60rpm~300rpm之间，但是这里的转速是指最终在转台上的转速，相对比普通伺服+减速机的构架，在最终转速上也是很有优势。在保持转速的同时，DD马达还保持了很高的输出扭力。由于采用永磁定子，因此在额定转速内安川DD马达的扭力输出曲线能够保持平滑线性特性。
安川DD马达介绍
如下图所示，安川DD马达总共三款：无芯内转子SGM7E、带芯内转子SGM7F、带芯外转子SGM7D。
SGM7E的优点是搭载24bit编码器；在无铁芯的形式下很少产生钝齿，从而实现无速度波动的顺畅运转。
SGM7F的优点是搭载24bit编码器；采用小直径转子，比较紧凑；可进行高速、高频次定位；发热较少。
SGM7D的优点是搭载24bit编码器；高惯性；可承载允许转动惯量比较大的负载；大口径的中空孔可节省配线空间。
安川DD马达特点与构造
SGM7E系列适用于需要速度稳定，顺畅运行的工况。一般应用的设备有CMP装置、6面外观检查装置、卷对卷制程装置等。
SGM7F系列适用于高速、高精度定位的场合。一般应用于切块机、粘合装置、喷涂装置、横式CVD装置、框胶涂布机、IC测试系统用处理机等。
SGM7D系列适用于承载大负载的情况。一般应用于划线机、液晶涂布机、配光膜喷墨装置、电机形成装置、血糖值测试纸涂布运送机等。
SGM7E系列机型数量有11款：
外径135~290mm
额定扭矩：2~35 N·m
最大扭矩：6~105 N·m
SGM7F系列机型数量有17款：
外径100~360mm
额定扭矩2~200N·m
最大扭矩6~600N·m
SGM7D系列机型数量有29款：
外径107~264mm
额定扭矩1.3~240N·m
最大扭矩4~400N·m
SGM7E和SGM7F系列配套的驱动器有：脉冲/模拟量型、M-II、M-III，还可以加装INDEXER模块，驱动器型号和旋转型伺服一致。
SGM7D配套驱动器有：Σ-7 FT82型与Σ-7 FT83型，其他旋转型伺服驱动器无法接7D电机。
安川DD马达配套的驱动器
安川AC伺服历史沿革
安川电机于1958年发售了安川品牌的AC伺服的原型Minertia电机（直流伺服电机），1983年将AC伺服电机产品系列化，并于1992年10月推出新一代“Σ-系列”等。此后不断向AC伺服驱动器市场推出蕴含改进技术的新产品，持续推动FA领域的发展。2012年2月，AC伺服电机累计出货量突破1000万台。
2013年11月，安川进一步提升伺服的安全性和节能性，推出旨在实现提高从组件到系统整体附加价值的现阶段主力产品——“Σ-7系列”，并被客户广泛使用。
